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極紫外 (EUV) 二向色濾光片

簡要描述:極紫外 (EUV) 二向色濾光片
在高次諧波發生器中將極紫外(EUV)與近紅外激光源分開
專為高損傷閾值設計
支持從10 - 40納米的應用
現貨儲備
無最小起訂量、無鍍膜批次收費

基礎信息

產品型號

廠商性質

經銷商

更新時間

2025-07-07

瀏覽次數

1137
詳細介紹
品牌Edmund Optics價格區間面議
組件類別光學元件應用領域綜合

極紫外 (EUV) 二向色濾光片

在高次諧波發生器中將極紫外(EUV)與近紅外激光源分開

專為高損傷閾值設計

支持從10 - 40納米的應用

現貨儲備

無最小起訂量、無鍍膜批次收費


通用規格

直徑 (mm):
50.80
入射角 (°):
78
基底:
Fused Silica (Corning 7980)
涂層:
Dielectric Multilayer AR
表面質量:
20-10
厚度 (mm):
5.08 ±0.1
平行度(弧分):
<5
尺寸容差 (mm):
+0.0/-0.2
面形計算 (RMS):
<λ/10 @ 633nm


型號


產品編碼Dia. (mm)厚度 (mm)波長范圍 (nm)
18-27950.80 5.08 ±0.110 - 25 
18-28050.80 5.08 ±0.120 - 40 


詳細資料

極紫外(EUV)二向色濾光片也被稱為分束鏡,是通過在極紫外(EUV)和近紅外波長之間提供高分離效率,用于高次諧波產生的應用。這些濾光片采用熔融石英基片,相比其他布魯斯特角光束分離器和極紫外(EUV)濾光片,能支持更高的激光功率。極紫外(EUV)二向色濾光片的帶寬范圍從10納米到40納米。 除了高次諧波產生,這些濾光片還可用于支持極紫外(EUV)應用的系統,如EUV光刻、EUV納米加工、相干衍射成像和超快阿秒脈沖產生。


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